Κύρια προδιαγραφή: 1. Τάση επιτάχυνσης: 1-15kV, συνεχώς ρυθμιζόμενη. 2. Τύπος ηλεκτρονικού όπλου: όπλο εκπομπής πεδίου schotty (FEG), εξαιρετικά ενσωματωμένος φακός όπλου δύο σταδίων, δεν χρειάζεται να ρυθμίσετε χειροκίνητα το διάφραγμα του φακού του αντικειμένου. 3. Μεγέθυνση ≥1000000X; 4. Ανάλυση:≤2.5nm@15KV 5. Ανιχνευτής: ανιχνευτής δευτερογενών ηλεκτρονίων (SE), τετραπλός ανιχνευτής οπισθοσκέδασης (BSE), 6. Στάδιο: 2 Axis XY μηχανοκίνητο στάδιο, κίνηση 60x55mm; 7. Μέγιστο μέγεθος δείγματος: 100*78*68.5mm ενώ οι άξονες XY κινούνται ελεύθερα 8. Αλλαγή δείγματος και χρόνος άντλησης υψηλού κενού≤ 180s. 9. Σύστημα υψηλού κενού: μηχανική αντλία, αντλία στροβιλομοριακού κενού, αντλία ιόντων x2, το κενό στην κάμερα δείγματος ≥4x10-2Pa, πλήρως αυτόματος έλεγχος; 10. Λειτουργία βίντεο ≥512x512 pixels, δεν χρειάζεται σάρωση μικρού παραθύρου. 11. Λειτουργία γρήγορης σάρωσης: χρόνος απεικόνισης≤3s, 512x512 pixels. 12. Λειτουργία αργής σάρωσης: χρόνος απεικόνισης≤40s, 2048x2048 pixels. 13. Αρχείο εικόνας: BMP, TIFF, JPEG, PNG. 14. Αυτόματη ρύθμιση φωτεινότητας και αντίθεσης με ένα πλήκτρο, αυτόματη εστίαση, συρραφή μεγάλης εικόνας 15. Λειτουργία πλοήγησης: πλοήγηση οπτικής κάμερας και κάμερα καμπίνας. 16. Λειτουργία μέτρησης εικόνας: απόσταση, γωνία κ.λπ. 17. Συμπεριλαμβανομένου υπολογιστή & λογισμικού, ελέγχου ποντικιού. 18. Προαιρετικό: --Νήμα βολφραμίου (20τμχ/κουτί) --EDS --3 Axis Motorized Stage XYZ --3 Axis Motorized Stage XYT --5 Axis Motorized Stage XYZRT --Χαμηλό κενό (1-60Pa) --In-Situ stage από το αρχικό εργοστάσιο, θέρμανση, ψύξη, τέντωμα κ.λπ. --Λειτουργία επιβράδυνσης, 1-10KV, μπορεί να παρατηρήσει μη αγωγούς ή δείγματα κακής αγωγιμότητας χωρίς ψεκασμό χρυσού, μόνο για λειτουργία BSE --Πλατφόρμα απορρόφησης κραδασμών (συνιστάται για A63.7005) 19. Μέγεθος μικροσκοπίου 650*370*642mm, μέγεθος μηχανικής αντλίας 340*160*140mm |
Μοντέλο | A63.7001 | A63.7002 | A63.7003 | A63.7004 | A63.7005 |
Ανάλυση | 10nm@15KV | 6nm@18KV | 4nm@20KV | 3nm@20KV | 2.5nm@15KV |
Μεγέθυνση | 150000x | 200000x | 360000x | 360000x | 1000000x |
Ηλεκτρονικό όπλο | Βολφράμιο | Βολφράμιο | Βολφράμιο | LaB6 | Schotty FEG |
Τάση | 5/10/15KV | 3-18KV | 3-20KV | 3-20KV | 1-15KV |
Ανιχνευτής | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE |
Πλοήγηση CCD | CCD | CCD | CCD+Κάμερα καμπίνας | CCD+Κάμερα καμπίνας | CCD+Κάμερα καμπίνας |
Χρόνος κενού | 90s | 90s | 30s | 90s | 180s |
Σύστημα κενού | Μηχανική αντλία Αντλία μοριακού κενού |
Μηχανική αντλία Αντλία μοριακού κενού |
Μηχανική αντλία Αντλία μοριακού κενού |
Μηχανική αντλία Αντλία μοριακού κενού Αντλία ιόντων |
Μηχανική αντλία Αντλία μοριακού κενού Αντλία ιόντων x2 |
Κενό | Υψηλό κενό 1x10-1Pa |
Υψηλό κενό 1x10-1Pa |
Υψηλό κενό 1x10-1Pa |
Υψηλό κενό 5x10-4Pa |
Υψηλό κενό 5x10-4Pa |
Στάδιο | Στάδιο XY, 40x30/40x40mm |
Στάδιο XY, 40x30/40x40mm |
Στάδιο XY, 60x55mm |
Στάδιο XY, 60x55mm |
Στάδιο XY, 60x55mm |
Ακρίβεια σταδίου | - | Ακρίβεια θέσης 5um | |||
Απόσταση εργασίας | 5-35mm | 5-35mm | 5-73.4mm | 5-73.4mm | 5-73.4mm |
Μέγιστο δείγμα | 80x42x40mm | 80x42x40mm | 100x78x68.5mm | 100x78x68.5mm | 100x78x68.5mm |
Προαιρετικό | Νήμα βολφραμίου 20 τμχ/κουτί | Νήμα Lab6 | Λυχνία εκπομπής πεδίου | ||
EDS Oxford AZtecOne με XploreCompact 30 | |||||
- | Χαμηλό κενό 1-100Pa | Χαμηλό κενό 1-30Pa | |||
- | Μονάδα άξονα Z | Στάδιο 3 αξόνων, X 60mm, Y 50mm, Z 25mm | |||
- | Μονάδα άξονα T | Στάδιο 3 αξόνων, X 60mm, Y 50mm, T ±20° | |||
- | - | Στάδιο 5 αξόνων, X 90mm, Y 50mm, Z 25mm, T ±20°, R 360° | |||
- | - | Πλατφόρμα απορρόφησης κραδασμών, Για στάδιο 3 αξόνων, 5 αξόνων | |||
- | Λειτουργία επιβράδυνσης 1-10KV Για παρακολούθηση μη αγώγιμων δειγμάτων, Μόνο για BSE | ||||
- | In-Situ Stage From Original Factory, Θέρμανση, Ψύξη, Τέντωμα κ.λπ. | ||||
UPS |
▶ AZtecOne με XploreCompact 30 για TTM
Σύστημα συμβατικής ανάλυσης Eds Το σύστημα παρέχει ποιοτική και ποσοτική ανάλυση διαφορετικών υλικών, αναλύοντας στοιχεία που κυμαίνονται από B(5) έως cf (98). Εκτός από τις μεμονωμένες σαρώσεις σημείων της επιφάνειας του δείγματος, είναι επίσης διαθέσιμες ισχυρές σαρώσεις γραμμών και φασματικές σαρώσεις στοιχείων. Σε συνδυασμό με έναν προσαρμοσμένο ανιχνευτή, η ανάλυση και η αναφορά μπορούν να γίνουν σε δευτερόλεπτα. |
Αποτελεσματική περιοχή κρυστάλλου | 30mm2 | Ανάλυση (μιας φωτογραφίας) | Mn Ka <129eV @50,000cps |
Εύρος ανίχνευσης στοιχείων | B (5) έως cf (98) | Μέγιστος ρυθμός καταμέτρησης εισόδου | >1.000.000 cps |