A63.7003 Ηλεκτρονικά μικροσκόπια σάρωσης επιτραπέζιου τύπου (SEM)ενσωματώνουν πολυάριθμες καινοτόμες τεχνολογίες, προσφέροντας όχι μόνο εξαιρετική απόδοση απεικόνισης αλλά και φορητότητα, καλύπτοντας ένα ευρύ φάσμα αναγκών εφαρμογής. Τόσο εγχώρια όσο και διεθνώς, η σειρά ZEM, με την υψηλού επιπέδου τοποθέτησή της και τα ποικίλα μοντέλα της, έχει επιτύχει προηγμένα πρότυπα στην καθαρότητα της απεικόνισης, τη φιλικότητα προς τον χρήστη και την ενσωμάτωση συστήματος.
A63.7003είναι γνωστό για το υψηλό επίπεδο ενσωμάτωσης και τις ευέλικτες επιλογές διαμόρφωσης. Η διεπαφή χρήστη είναι απλή, εύκολη στην εκμάθηση και τη λειτουργία, επιτρέποντας ακόμη και σε μη ειδικούς χρήστες να γίνουν γρήγορα έμπειροι. Το συνοδευτικό λογισμικό υποστηρίζει ολόκληρη τη ροή εργασίας, από την προετοιμασία του δείγματος, τη ρύθμιση παραμέτρων, έως την ανάλυση εικόνας, παρέχοντας μια ολοκληρωμένη και αποτελεσματική λύση.A63.7003έχει επιδείξει ισχυρές αναλυτικές δυνατότητες σε πολλαπλά πεδία όπως νέα υλικά, νέα ενέργεια, βιοϊατρική και ημιαγωγοί, βοηθώντας τους ερευνητές στην εξερεύνηση των μυστηρίων του μικροσκοπικού κόσμου. Λόγω της εξαιρετικής αναλογίας κόστους-απόδοσης, η σειρά ZEM έχει γίνει η προτιμώμενη επιλογή για πολλά πανεπιστήμια, ερευνητικά ιδρύματα και επιχειρήσεις που αναζητούν ένα ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης επιτραπέζιου τύπου.
Το επιτραπέζιο SEM A63.7003 χρησιμοποιεί ένα ευρύτερο φάσμα τάσεων επιτάχυνσης, βήματα 1Kv και μέγιστη μεγέθυνση 360.000x με ανάλυση έως 5nm. Η λειτουργία επιβράδυνσης επιτραπέζιου τύπου επιτρέπει την παρατήρηση προϊόντων χαμηλής αγωγιμότητας σε πραγματικό χρόνο χωρίς την ανάγκη ψεκασμού χρυσού. Το εξαιρετικά μεγάλο διαμέρισμα δειγμάτων μπορεί να ενσωματωθεί με ένα ευρύ φάσμα πλατφορμών επέκτασης in-situ για την κάλυψη διαφορετικών πειραματικών και επιθεωρητικών αναγκών. |
Συνθήκες εργασίας: Περιβαλλοντικές απαιτήσεις: μικρό μέγεθος, ολόκληρο το μηχάνημα μπορεί να τοποθετηθεί σε ένα συνηθισμένο εργαστηριακό τραπέζι, δεν χρειάζεται να είναι εξοπλισμένο με ένα επιπλέον τραπέζι απορρόφησης κραδασμών. 1. Τροφοδοσία 220V, 50Hz, 1KW 2. Θερμοκρασία: Θερμοκρασία περιβάλλοντος λειτουργίας: 15°C-30°C 3. Υγρασία:<80%RH |
Κύρια προδιαγραφή: 1. Τάση επιτάχυνσης: 3-20kV, συνεχώς ρυθμιζόμενη. 2. Τύπος ηλεκτρονικού όπλου: προ-ευθυγραμμισμένο νήμα βολφραμίου, διάρκεια ζωής 100 ώρες, εύκολο στην αντικατάσταση από τον χρήστη, εξαιρετικά ενσωματωμένος φακός όπλου δύο σταδίων, δεν χρειάζεται να ρυθμίσετε χειροκίνητα το διάφραγμα του φακού του αντικειμένου. 3. Μεγέθυνση ≥360000X; 4. Ανάλυση:≤4nm@20KV 5. Ανιχνευτής: ανιχνευτής δευτερογενών ηλεκτρονίων (SE), τετραπλός ανιχνευτής οπισθοσκέδασης (BSE), 6. Στάδιο: 2 Axis XY μηχανοκίνητο στάδιο, κίνηση 60x55mm; 7. Μέγιστο μέγεθος δείγματος: 100*78*68.5mm ενώ οι άξονες XY κινούνται ελεύθερα 8. Αλλαγή δείγματος και χρόνος άντλησης υψηλού κενού≤ 30s. 9. Σύστημα υψηλού κενού: ενσωματωμένη τουρμπομοριακή αντλία, εξωτερική μηχανική αντλία, το κενό στο θάλαμο δειγμάτων ≥1x10-1Pa, πλήρως αυτόματος έλεγχος; 10. Λειτουργία βίντεο ≥512x512 pixels, δεν χρειάζεται σάρωση μικρού παραθύρου. 11. Λειτουργία γρήγορης σάρωσης: χρόνος απεικόνισης≤3s, 512x512 pixels. 12. Λειτουργία αργής σάρωσης: χρόνος απεικόνισης≤40s, 2048x2048 pixels. 13. Αρχείο εικόνας: BMP, TIFF, JPEG, PNG. 14. Αυτόματη ρύθμιση φωτεινότητας και αντίθεσης με ένα κλειδί, αυτόματη εστίαση, μεγάλη συρραφή εικόνων 15. Λειτουργία πλοήγησης: οπτική πλοήγηση κάμερας και κάμερα καμπίνας. 16. Λειτουργία μέτρησης εικόνας: απόσταση, γωνία κ.λπ. 17. Συμπεριλαμβανομένου υπολογιστή & λογισμικού, ελέγχου ποντικιού. 18. Προαιρετικό: --Νήμα βολφραμίου (20 τεμ./κουτί) --EDS --3 Axis Motorized Stage XYZ --3 Axis Motorized Stage XYT --5 Axis Motorized Stage XYZRT --Χαμηλό κενό (1-100Pa) --Λειτουργία επιβράδυνσης, 1-10KV, μπορεί να παρατηρήσει μη αγωγικά ή κακής αγωγιμότητας δείγματα χωρίς ψεκασμό χρυσού, μόνο για τη λειτουργία BSE --In-Situ stage από το αρχικό εργοστάσιο, θέρμανση, ψύξη, τέντωμα κ.λπ. --Πλατφόρμα απορρόφησης κραδασμών (συνιστάται για A63.7003) 19. Μέγεθος μικροσκοπίου 650*370*642mm, μέγεθος μηχανικής αντλίας 340*160*140mm |
Μοντέλο | A63.7001 | A63.7002 | A63.7003 | A63.7004 | A63.7005 |
Ανάλυση | 10nm@15KV | 6nm@18KV | 4nm@20KV | 3nm@20KV | 2.5nm@15KV |
Μεγέθυνση | 150000x | 200000x | 360000x | 360000x | 1000000x |
Ηλεκτρονικό όπλο | Βολφράμιο | Βολφράμιο | Βολφράμιο | LaB6 | Schotty FEG |
Τάση | 5/10/15KV | 3-18KV | 3-20KV | 3-20KV | 1-15KV |
Ανιχνευτής | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE |
Πλοήγηση CCD | CCD | CCD | CCD+Κάμερα καμπίνας | CCD+Κάμερα καμπίνας | CCD+Κάμερα καμπίνας |
Χρόνος κενού | 90s | 90s | 30s | 90s | 180s |
Σύστημα κενού | Μηχανική αντλία Μοριακή αντλία |
Μηχανική αντλία Μοριακή αντλία |
Μηχανική αντλία Μοριακή αντλία |
Μηχανική αντλία Μοριακή αντλία Αντλία ιόντων |
Μηχανική αντλία Μοριακή αντλία Αντλία ιόντων x2 |
Κενό | Υψηλό κενό 1x10-1Pa |
Υψηλό κενό 1x10-1Pa |
Υψηλό κενό 1x10-1Pa |
Υψηλό κενό 5x10-4Pa |
Υψηλό κενό 5x10-4Pa |
Στάδιο | Στάδιο XY, 40x30/40x40mm |
Στάδιο XY, 40x30/40x40mm |
Στάδιο XY, 60x55mm |
Στάδιο XY, 60x55mm |
Στάδιο XY, 60x55mm |
Ακρίβεια σταδίου | - | Ακριβής τοποθέτηση 5um | |||
Απόσταση εργασίας | 5-35mm | 5-35mm | 5-73.4mm | 5-73.4mm | 5-73.4mm |
Μέγιστο δείγμα | 80x42x40mm | 80x42x40mm | 100x78x68.5mm | 100x78x68.5mm | 100x78x68.5mm |
Προαιρετικό | Νήμα βολφραμίου 20 τεμ./κουτί | Λάμπα Lab6 | Λάμπα εκπομπής πεδίου | ||
EDS Oxford AZtecOne με XploreCompact 30 | |||||
- | Χαμηλό κενό 1-100Pa | Χαμηλό κενό 1-30Pa | |||
- | Μονάδα άξονα Z | Στάδιο 3 αξόνων, X 60mm, Y 50mm, Z 25mm | |||
- | Μονάδα άξονα T | Στάδιο 3 αξόνων, X 60mm, Y 50mm, T ±20° | |||
- | - | Στάδιο 5 αξόνων, X 90mm, Y 50mm, Z 25mm, T ±20°, R 360° | |||
- | - | Πλατφόρμα απορρόφησης κραδασμών, Για στάδιο 3 αξόνων, 5 αξόνων | |||
- | Λειτουργία επιβράδυνσης 1-10KV Για παρακολούθηση μη αγώγιμων δειγμάτων, Μόνο για BSE | ||||
- | In-Situ Stage From Original Factory, Θέρμανση, Ψύξη, Τέντωμα κ.λπ. | ||||
UPS |
▶ AZtecOne με XploreCompact 30 για TTM
Σύστημα συμβατικής ανάλυσης Eds Το σύστημα παρέχει ποιοτική και ποσοτική ανάλυση διαφορετικών υλικών, αναλύοντας στοιχεία που κυμαίνονται από B(5) έως cf (98). Εκτός από τις μεμονωμένες σαρώσεις σημείων της επιφάνειας του δείγματος, είναι επίσης διαθέσιμες ισχυρές σαρώσεις γραμμών και φασματικές σαρώσεις στοιχείων. Σε συνδυασμό με έναν προσαρμοσμένο ανιχνευτή, η ανάλυση και η αναφορά μπορούν να γίνουν σε δευτερόλεπτα. |
Αποτελεσματική περιοχή κρυστάλλου | 30mm2 | Ανάλυση (μιας φωτογραφίας) | Mn Ka <129eV @50,000cps |
Εύρος ανίχνευσης στοιχείων | B (5) έως cf (98) | Μέγιστος ρυθμός καταμέτρησης εισόδου | >1.000.000 cps |