Εξαιρετική απόδοση, απεικόνιση υψηλής ταχύτητας, ποικίλα σήματα Η ζώνη εύρους ζώνης λήψης σήματος μικροσκοπίου σάρωσης επιτραπέζιου υπολογιστή ZEM18 φτάνει τα 10M, γρήγορη ταχύτητα σάρωσης, παρατήρηση δειγμάτων σε πραγματικό χρόνο σε λειτουργία βίντεο, χωρίς φαντάσματα, σύρσιμο, μην χάσετε κάθε λεπτομέρεια. συμβατό με μια ποικιλία ZEP.TOOLS in-situ λειτουργικό στάδιο δείγματος.
Κύρια προδιαγραφή: 1. Τάση επιτάχυνσης: 3-18kV, συνεχώς ρυθμιζόμενη. 2. Τύπος ηλεκτρονικού όπλου: προ-ευθυγραμμισμένο νήμα βολφραμίου, διάρκεια ζωής 100 ώρες, εύκολο στην αντικατάσταση από τον χρήστη, εξαιρετικά ενσωματωμένος φακός όπλου δύο σταδίων, δεν χρειάζεται να ρυθμίσετε χειροκίνητα το διάφραγμα του αντικειμενικού φακού. 3. Μεγέθυνση ≥200000X; 4. Ανάλυση:≤6nm@18KV 5. Ανιχνευτής: ανιχνευτής δευτερογενών ηλεκτρονίων (SE), τετραπλός ανιχνευτής οπισθοσκέδασης (BSE), 6. Στάδιο: μηχανοκίνητο στάδιο 2 αξόνων XY, κίνηση 40x30mm (40x40mm προαιρετικό); 7. Μέγιστο μέγεθος δείγματος: 80x42x40mm 8. Αλλαγή δείγματος και χρόνος άντλησης υψηλού κενού≤ 90s. 9. Σύστημα υψηλού κενού: ενσωματωμένη μοριακή αντλία turbo, εξωτερική μηχανική αντλία, το κενό στο θάλαμο δειγμάτων ≥1x10-1Pa, πλήρως αυτόματος έλεγχος; 10. Λειτουργία βίντεο ≥512x512 pixels, δεν χρειάζεται σάρωση μικρού παραθύρου. 11. Λειτουργία γρήγορης σάρωσης: χρόνος απεικόνισης≤3s, 512x512 pixels. 12. Λειτουργία αργής σάρωσης: χρόνος απεικόνισης≤40s, 2048x2048 pixels. 13. Αρχείο εικόνας: BMP, TIFF, JPEG, PNG. 14. Αυτόματη ρύθμιση φωτεινότητας και αντίθεσης με ένα πλήκτρο, αυτόματη εστίαση, συρραφή μεγάλης εικόνας 15. Λειτουργία πλοήγησης: πλοήγηση οπτικής κάμερας και κάμερα καμπίνας. 16. Λειτουργία μέτρησης εικόνας: απόσταση, γωνία κ.λπ. 17. Συμπεριλαμβανομένου υπολογιστή & λογισμικού, ελέγχου ποντικιού. 18. Προαιρετικό: --Νήμα βολφραμίου (20 τεμ/κουτί) --EDS --Χαμηλό κενό (1-100Pa) --Μονάδα άξονα Z, άξονα T --Λειτουργία επιβράδυνσης, 1-10KV, μπορεί να παρατηρήσει δείγματα μη αγωγών ή κακής αγωγιμότητας χωρίς ψεκασμό χρυσού, μόνο για λειτουργία BSE --In-Situ stage από το αρχικό εργοστάσιο, θέρμανση, ψύξη, τέντωμα κ.λπ. 19. Μέγεθος μικροσκοπίου: 283*553*505mm, μέγεθος μηχανικής αντλίας 340*160*140mm |
Μοντέλο | A63.7001 | A63.7002 | A63.7003 | A63.7004 | A63.7005 |
Ανάλυση | 10nm@15KV | 6nm@18KV | 4nm@20KV | 3nm@20KV | 2.5nm@15KV |
Μεγέθυνση | 150000x | 200000x | 360000x | 360000x | 1000000x |
Ηλεκτρονικό όπλο | Βολφράμιο | Βολφράμιο | Βολφράμιο | LaB6 | Schotty FEG |
Τάση | 5/10/15KV | 3-18KV | 3-20KV | 3-20KV | 1-15KV |
Ανιχνευτής | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE |
CCD πλοήγησης | CCD | CCD | CCD+Κάμερα καμπίνας | CCD+Κάμερα καμπίνας | CCD+Κάμερα καμπίνας |
Χρόνος κενού | 90s | 90s | 30s | 90s | 180s |
Σύστημα κενού | Μηχανική αντλία Μοριακή αντλία |
Μηχανική αντλία Μοριακή αντλία |
Μηχανική αντλία Μοριακή αντλία |
Μηχανική αντλία Μοριακή αντλία Αντλία ιόντων |
Μηχανική αντλία Μοριακή αντλία Αντλία ιόντων x2 |
Κενό | Υψηλό κενό 1x10-1Pa |
Υψηλό κενό 1x10-1Pa |
Υψηλό κενό 1x10-1Pa |
Υψηλό κενό 5x10-4Pa |
Υψηλό κενό 5x10-4Pa |
Στάδιο | Στάδιο XY, 40x30/40x40mm |
Στάδιο XY, 40x30/40x40mm |
Στάδιο XY, 60x55mm |
Στάδιο XY, 60x55mm |
Στάδιο XY, 60x55mm |
Ακρίβεια σταδίου | - | Ακριβής θέση 5um | |||
Απόσταση εργασίας | 5-35mm | 5-35mm | 5-73.4mm | 5-73.4mm | 5-73.4mm |
Μέγιστο δείγμα | 80x42x40mm | 80x42x40mm | 100x78x68.5mm | 100x78x68.5mm | 100x78x68.5mm |
Προαιρετικό | Νήμα βολφραμίου 20 τεμ/κουτί | Νήμα Lab6 | Λυχνία εκπομπής πεδίου | ||
EDS Oxford AZtecOne with XploreCompact 30 | |||||
- | Χαμηλό κενό 1-100Pa | Χαμηλό κενό 1-30Pa | |||
- | Μονάδα άξονα Z | Στάδιο 3 αξόνων, X 60mm, Y 50mm, Z 25mm | |||
- | Μονάδα άξονα T | Στάδιο 3 αξόνων, X 60mm, Y 50mm, T ±20° | |||
- | - | Στάδιο 5 αξόνων, X 90mm, Y 50mm, Z 25mm, T ±20°, R 360° | |||
- | - | Πλατφόρμα απορρόφησης κραδασμών, Για στάδιο 3 αξόνων, 5 αξόνων | |||
- | Λειτουργία επιβράδυνσης 1-10KV Για παρακολούθηση μη αγώγιμων δειγμάτων, Μόνο για BSE | ||||
- | In-Situ Stage From Original Factory, Heating, Cooling, Stretch, etc. | ||||
UPS |
▶ AZtecOne with XploreCompact 30 for TTM
System Conventional Eds Analysis Το σύστημα παρέχει ποιοτική και ποσοτική ανάλυση διαφορετικών υλικών, αναλύοντας στοιχεία που κυμαίνονται από B(5) έως cf (98). Εκτός από μεμονωμένες σαρώσεις σημείων της επιφάνειας του δείγματος, είναι επίσης διαθέσιμες ισχυρές σαρώσεις γραμμών και φασματικές σαρώσεις στοιχείων. σε συνδυασμό με έναν προσαρμοσμένο ανιχνευτή, η ανάλυση και η αναφορά μπορούν να γίνουν σε δευτερόλεπτα. |
Ενεργή περιοχή κρυστάλλου | 30mm2 | Ανάλυση (μιας φωτογραφίας) | Mn Ka <129eV @50,000cps |
Εύρος ανίχνευσης στοιχείων | B (5) έως cf (98) | Μέγιστος ρυθμός καταμέτρησης εισόδου | >1,000,000 cps |