OPTO-EDU A63.7190 300000x Ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης κρίσιμης διάστασης
-
Μέγεθος γκοφρετώνΑ63.7190-68: 6/8 ίντσες
-
Απόφαση2.5nm (Acc=800V)
-
Επιταχυνόμενες Τάσεις0.5-1.6KV
-
ΕπαναληψιμότηταΣτατικό & Δυναμικό ±1% ή 3nm(3 Σίγμα)
-
Ρεύμα δέσμης ανιχνευτή3~30pA
-
Πεδίο μέτρησηςΕπικαιροποίηση της εμβέλειας
-
Τόπος καταγωγήςΚίνα
-
ΜάρκαCNOEC, OPTO-EDU
-
ΠιστοποίησηCE, Rohs
-
Αριθμό μοντέλουΑ63.7190
-
Έγγραφο
-
Ποσότητα παραγγελίας min1 εκατ.
-
ΤιμήFOB $1~1000, Depend on Order Quantity
-
Συσκευασία λεπτομέρειεςΣυσκευασία χαρτοκιβωτίων, για τη μεταφορά εξαγωγής
-
Χρόνος παράδοσης5 έως 20 ημέρες
-
Όροι πληρωμήςT/T, δυτική ένωση, Paypal
-
Δυνατότητα προσφοράςμήνας 5000 PC
OPTO-EDU A63.7190 300000x Ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης κρίσιμης διάστασης
|
Ένα ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης κρίσιμης διάστασης (CD-SEM) είναι ένα εξειδικευμένο SEM που χρησιμοποιείται για τη μέτρηση των διαστάσεων μικροσκοπικών χαρακτηριστικών σε ημιαγωγούς πλάκες, φωτομάσκες και άλλα υλικά.Αυτές οι μετρήσεις είναι ζωτικής σημασίας για τη διασφάλιση της ακρίβειας και της ακρίβειας των κατασκευασμένων ηλεκτρονικών συσκευών.
ΕπικεφαλήςΣυμβατό με 6/8 ίντσες Wafers Μέγεθος, Μεγέθυνση 1000x-300000x ΕπικεφαλήςΑνάλυση 2,5nm (Acc=800V), Εντάσεις επιτάχυνσης 500V-1600V ΕπικεφαλήςΕπαναληπτότητα Στατική και δυναμική ± 1% ή 3nm ((3 Sigma), ρεύμα δέσμης ανίχνευσης 3 ~ 30pA ΕπικεφαλήςΣχεδιασμός συστήματος μεταφοράς κυψελών υψηλής ταχύτητας κατάλληλο για τσιπ ημιαγωγών 3ης γενιάς ΕπικεφαλήςΠροηγμένα συστήματα ηλεκτρονικής οπτικής και επεξεργασίας εικόνας, συμπεριλαμβανομένων ψυκτικών, στεγνών αντλιών |
|
▶Βασικά χαρακτηριστικά Τα CD-SEM χρησιμοποιούν δέσμη ηλεκτρονίων χαμηλής ενέργειας και έχουν βελτιωμένη βαθμονόμηση μεγέθυνσης για να εξασφαλίσουν ακριβείς και επαναληπτές μετρήσεις.και γωνίες πλάτων των σχεδίων. |
|
▶Σκοπός Τα CD-SEM είναι απαραίτητα για τη μετρολογία στη βιομηχανία ημιαγωγών, βοηθώντας στη μέτρηση των κρίσιμων διαστάσεων (CD) των προτύπων που δημιουργούνται κατά τη διάρκεια των διαδικασιών λιθογραφίας και χαρακτικής.Τα CD αναφέρονται στα μικρότερα μεγέθη των χαρακτηριστικών που μπορούν να παραχθούν και να μετρηθούν αξιόπιστα σε πλακέτα. |
|
▶Εφαρμογές Αυτά τα όργανα χρησιμοποιούνται στις γραμμές παραγωγής ηλεκτρονικών συσκευών για να εξασφαλίσουν την ακρίβεια των διαστάσεων των διαφόρων στρωμάτων και χαρακτηριστικών που αποτελούν ένα τσιπ.Διαδραματίζουν επίσης κρίσιμο ρόλο στην ανάπτυξη και τον έλεγχο των διαδικασιών, βοηθώντας στον εντοπισμό και τη διόρθωση τυχόν προβλημάτων που ενδέχεται να προκύψουν κατά τη διάρκεια της διαδικασίας παραγωγής.
▶Σημασία Χωρίς τα CD-SEM, η σύγχρονη μικροηλεκτρονική θα δυσκολευόταν να επιτύχει το υψηλό επίπεδο ακρίβειας και απόδοσης που απαιτείται από τη βιομηχανία.Είναι απαραίτητα για την εξασφάλιση της αξιοπιστίας και της λειτουργικότητας των σύγχρονων ηλεκτρονικών συσκευών. |
|
▶Μεταβαλλόμενη Τεχνολογία Καθώς οι τεχνικές λιθογραφίας εξελίσσονται και τα μεγέθη των χαρακτηριστικών συνεχίζουν να συρρικνώνονται, τα CD-SEM εξελίσσονται συνεχώς για να ανταποκρίνονται στις απαιτήσεις της βιομηχανίας.Αναπτύσσονται νέες τεχνολογίες και εξελίξεις στο CD-SEM για την αντιμετώπιση των προκλήσεων της μέτρησης ολοένα και πιο πολύπλοκων προτύπων |
| Α63.7190 Ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης κρίσιμης διάστασης (CDSEM) | ||
| Μέγεθος πλάκας | Α63.7190-68: 6/8 ίντσες | Α63.7190-1212 ίντσες. |
| Απόφαση | 2.5nm (Acc=800V) | 1.8nm (Acc-800V) |
| Επιταχυνόμενες τάσεις | 0.5-1.6KV | 0.3-2.0KV |
| Επαναληψιμότητα | Στατική και δυναμική ± 1% ή 3nm ((3 Sigma) | Στατική και δυναμική ± 1% ή 0,3nm ((3 Sigma) |
| ρεύμα δέσμης ανίχνευσης | 3 ~ 30pA | 3 ~ 40pA |
| Πεδίο μέτρησης | Επικαιροποίηση της εμβέλειας | ΔΕΠ 0,05 έως 2,0μm |
| Περιορισμός | > 20 βάφλες/ώρα, | > 36 βάφλες/ώρα, |
| 1 σημείο/τσίπ, | 1 σημείο/τσίπ, | |
| 20 Τσιπς/Ουσίδα | 20 Τσιπς/Ουσίδα | |
| Μεγέθυνση | 1Kx~300Kx | 1Kx-500Kx |
| Ακριβότητα σταδίου | 0.5μm | |
| Πηγή ηλεκτρονίων | Εκδότης θερμικού πεδίου Schottky | |
| Σύγκριση των κύριων μοντέλων CDSEM στην αγορά | |||||
| Προδιαγραφές | Η Hitachi | Η Hitachi | Η Hitachi | Οπτο-Εντού | Οπτο-Εντού |
| S8840 | S9380 | S9380 ΙΙ | Α63.7190-68 | Α63.7190-12 | |
| 1. Μέγεθος κυψέλης | 6 ίντσες/8 ίντσες | 8 ίντσες/12 ίντσες | 8 ίντσες/12 ίντσες | 6 ίντσες/8 ίντσες | 12 ίντσες. |
| 2. Ψήφισμα | 5nm (Acc=800V) | 2nm (Acc=800V) | 2nm (Acc=800V) | 2.5nm (Acc=800V) | 10,8nm (Acc=800V) |
| 3- Επιταχυντική τάση. | 500-1300V | 300-1600V | 300-1600V | 500-1600V | 300-2000V |
| 4. Επαναληψιμότητα (στατική και δυναμική) | ± 1% ή 5nm ((3 sigma) | ± 1% ή 2nm ((3 sigma) | ± 1% ή 2nm ((3 sigma) | ± 1% ή 3nm ((3 sigma) | ± 1% ή 0,3nm ((3 sigma) |
| 5. Περιοχή IP (στροφή ανίχνευσης) | 1-16pA | 3-50pA | 3-50pA | 3-30pA | 3-40pA |
| 6. Μέγεθος FOV | - | 50nm-2um | 0.05-2um | 0.1-2um | 0.05-2um |
| 7.Επιμέλεια | 26 πλάκες/ώρα, | 24 πλάκες/ώρα, | 24 πλάκες/ώρα, | > 20 πλάκες/ώρα, | 36 πλάκες/ώρα, |
| 1 πόντος/φραγίδα, | 1 πόντος/φραγίδα, | 1 πόντος/φραγίδα, | 1 πόντος/φραγίδα, | 1 πόντος/φραγίδα, | |
| 5 μάρκες/πακέτο | 20 μάρκες/παράγωγα | 20 μάρκες/παράγωγα | 20 μάρκες/παράγωγα | 20 μάρκες/παράγωγα | |
Τα προϊόντα μας πωλούνται σε όλο τον κόσμο. Μπορείτε να είστε σίγουροι για ολόκληρη τη διαδικασία των προϊόντων μας.