Οπτικό + Μικροσκόπιο Ατομικής Δύναμης, Όλα σε Ένα
◆ Ενσωματωμένος σχεδιασμός οπτικού μεταλλογραφικού μικροσκοπίου και μικροσκοπίου ατομικής δύναμης, ισχυρές λειτουργίες
◆ Διαθέτει λειτουργίες απεικόνισης οπτικού μικροσκοπίου και μικροσκοπίου ατομικής δύναμης, οι οποίες μπορούν να λειτουργήσουν ταυτόχρονα χωρίς να επηρεάζουν η μία την άλλη
◆ Ταυτόχρονα, έχει τις λειτουργίες της οπτικής μέτρησης 2D και της μέτρησης μικροσκοπίου ατομικής δύναμης 3D
-
◆ Η κεφαλή ανίχνευσης λέιζερ και το στάδιο σάρωσης δείγματος είναι ενσωματωμένα, η δομή είναι πολύ σταθερή και η αντιπαρεμβολή είναι ισχυρή
◆ Συσκευή τοποθέτησης ανιχνευτή ακριβείας, η ρύθμιση ευθυγράμμισης σημείου λέιζερ είναι πολύ εύκολη
-
◆ Το δείγμα κίνησης ενός άξονα προσεγγίζει αυτόματα τον καθετήρα κατακόρυφα, έτσι ώστε το άκρο της βελόνας να είναι κάθετο στη σάρωση δείγματος
◆ Η έξυπνη μέθοδος τροφοδοσίας με βελόνα της αυτόματης ανίχνευσης πιεζοηλεκτρικού κεραμικού πιεζοηλεκτρικού ελεγχόμενου κινητήρα προστατεύει τον καθετήρα και το δείγμα
-
◆ Οπτικό σύστημα εντοπισμού θέσης εξαιρετικά υψηλής μεγέθυνσης για την επίτευξη ακριβούς τοποθέτησης του καθετήρα και της περιοχής σάρωσης δείγματος
◆ Ενσωματωμένος επεξεργαστής χρήστη μη γραμμικής διόρθωσης σαρωτή, νανόμετρο
-
-
-
-
-
-
-
-
Προσδιορισμός |
A62,4500 |
A622.4501 |
A62.4503 |
A62.4505 |
Λειτουργία εργασίας |
Λειτουργία πατήματος
[Προαιρετικός] Λειτουργία επαφής Λειτουργία τριβής Λειτουργία φάσης Μαγνητική Λειτουργία Ηλεκτροστατική λειτουργία |
Λειτουργία επαφής Λειτουργία πατήματος
[Προαιρετικός] Λειτουργία τριβής Λειτουργία φάσης Μαγνητική Λειτουργία Ηλεκτροστατική λειτουργία |
Λειτουργία επαφής Λειτουργία πατήματος
[Προαιρετικός] Λειτουργία τριβής Λειτουργία φάσης Μαγνητική Λειτουργία Ηλεκτροστατική λειτουργία |
Λειτουργία επαφής Λειτουργία πατήματος
[Προαιρετικός] Λειτουργία τριβής Λειτουργία φάσης Μαγνητική Λειτουργία Ηλεκτροστατική λειτουργία |
Καμπύλη φάσματος ρεύματος |
Καμπύλη RMS-Z
[Προαιρετικός] Καμπύλη δύναμης FZ |
Καμπύλη RMS-Z Καμπύλη δύναμης FZ |
Καμπύλη RMS-Z Καμπύλη δύναμης FZ |
Καμπύλη RMS-Z Καμπύλη δύναμης FZ |
Εύρος σάρωσης XY |
20×20μ |
20×20μ |
50×50μ |
50×50μ |
Ανάλυση σάρωσης XY |
0,2 nm |
0,2 nm |
0,2 nm |
0,2 nm |
Z Εύρος σάρωσης |
2,5 μ |
2,5 μ |
5 μμ |
5 μμ |
Y Ανάλυση σάρωσης |
0,05 nm |
0,05 nm |
0,05 nm |
0,05 nm |
Ταχύτητα σάρωσης |
0,6Hz~30Hz |
0,6Hz~30Hz |
0,6Hz~30Hz |
0,6Hz~30Hz |
Γωνία σάρωσης |
0~360° |
0~360° |
0~360° |
0~360° |
Το μέγεθος του δείγματος |
Φ≤90mm Υ≤20 mm |
Φ≤90mm Υ≤20 mm |
Φ≤90mm Υ≤20 mm |
Φ≤90mm Υ≤20 mm |
XY Stage Moving |
15×15mm |
15×15mm |
25×25μ |
25×25μ |
Σχέδιο απορρόφησης κραδασμών |
Ανάρτηση ελατηρίου |
Ανάρτηση ελατηρίου Μεταλλικό κουτί θωράκισης |
Ανάρτηση ελατηρίου Μεταλλικό κουτί θωράκισης |
- |
Οπτικό Σύστημα |
4x Στόχος Ανάλυση 2,5um |
4x Στόχος Ανάλυση 2,5um |
10x Στόχος Ανάλυση 1um |
Προσοφθάλμιο 10x Infinity Plan LWD APO 5x10x20x50x Ψηφιακή κάμερα 5.0M Οθόνη LCD 10" με μέτρηση Φωτισμός LED Kohler Ομοαξονική χονδροειδής & λεπτή εστίαση |
Παραγωγή |
USB2.0/3.0 |
USB2.0/3.0 |
USB2.0/3.0 |
USB2.0/3.0 |
Λογισμικό |
Κερδίστε XP/7/8/10 |
Κερδίστε XP/7/8/10 |
Κερδίστε XP/7/8/10 |
Κερδίστε XP/7/8/10 |
-
Μικροσκόπιο |
Οπτικό Μικροσκόπιο |
Ηλεκτρονικό μικροσκόπιο |
Μικροσκόπιο ανιχνευτή σάρωσης |
Μέγιστη ανάλυση (um) |
0,18 |
0,00011 |
0,00008 |
Παρατήρηση |
Εμβάπτιση λαδιού 1500x |
Απεικόνιση ατόμων άνθρακα διαμαντιού |
Απεικόνιση γραφικών ατόμων άνθρακα υψηλής τάξης |
|
|
|
-
Αλληλεπίδραση ανιχνευτή-δείγματος |
Σήμα μέτρησης |
Πληροφορίες |
Δύναμη |
Ηλεκτροστατική Δύναμη |
Σχήμα |
Ρεύμα σήραγγας |
Ρεύμα |
Σχήμα, Αγωγιμότητα |
Μαγνητική δύναμη |
Φάση |
Μαγνητική Δομή |
Ηλεκτροστατική Δύναμη |
Φάση |
διανομή χρέωσης |
-
|
Ανάλυση |
Κατάσταση Λειτουργίας |
Θερμοκρασία εργασίας |
Ζημιά στο δείγμα |
Βάθος Επιθεώρησης |
SPM |
Επίπεδο ατόμου 0,1 nm |
Κανονικό, Υγρό, Κενό |
Δωμάτιο ή χαμηλή θερμοκρασία |
Κανένας |
1~2 Επίπεδο Ατόμου |
ΤΕΜ |
Σημείο 0,3~0,5 nm Πλέγμα 0,1~0,2 nm |
Υψηλό κενό |
Θερμοκρασία δωματίου |
Μικρό |
Συνήθως <100nm |
SEM |
6-10 nm |
Υψηλό κενό |
Θερμοκρασία δωματίου |
Μικρό |
10mm @10x 1um @10000x |
FIM |
Επίπεδο ατόμου 0,1 nm |
Super High Vaccum |
30~80 χιλ |
Ζημιά |
Πάχος ατόμου |
-
-
-