Μικροσκόπιο Ατομικής Δύναμης Επιπέδου Έρευνας

• Επίπεδο έρευνας, συνδυασμένος ελεγκτής & σχεδιασμός κύριου σώματος, με λειτουργία επαφής, λειτουργία πατήματος, 10x Objective.
• Συσκευή τοποθέτησης λέιζερ και ανιχνευτή ακριβείας, είναι απλή και βολική η αντικατάσταση του καθετήρα και η προσαρμογή του σημείου
• Οι πιεζοηλεκτρικοί κεραμικοί σαρωτές υψηλής ακρίβειας και μεγάλης κλίμακας μπορούν να επιλεγούν σύμφωνα με διαφορετικές απαιτήσεις ακρίβειας και εύρους σάρωσης
• Οπτική τοποθέτηση αντικειμενικού φακού 10X APO, δεν χρειάζεται εστίαση, παρατήρηση σε πραγματικό χρόνο και τοποθέτηση της περιοχής σάρωσης δείγματος ανιχνευτή.
• Η αντικραδασμική μέθοδος ανάρτησης ελατηρίου είναι απλή και πρακτική και έχει ισχυρή ικανότητα κατά των παρεμβολών.

• 

• ◆ Η κεφαλή ανίχνευσης λέιζερ και το στάδιο σάρωσης δείγματος είναι ενσωματωμένα, η δομή είναι πολύ σταθερή και η αντιπαρεμβολή είναι ισχυρή

• ◆ Συσκευή τοποθέτησης ανιχνευτή ακριβείας, η ρύθμιση ευθυγράμμισης σημείου λέιζερ είναι πολύ εύκολη

  ◆ Το δείγμα κίνησης ενός άξονα προσεγγίζει αυτόματα τον καθετήρα κατακόρυφα, έτσι ώστε το άκρο της βελόνας να είναι κάθετο στη σάρωση δείγματος

  ◆ Η έξυπνη μέθοδος τροφοδοσίας με βελόνα της αυτόματης ανίχνευσης πιεζοηλεκτρικού κεραμικού πιεζοηλεκτρικού ελεγχόμενου κινητήρα προστατεύει τον καθετήρα και το δείγμα

•  

  ◆ Οι πιεζοηλεκτρικοί κεραμικοί σαρωτές υψηλής ακρίβειας και μεγάλης εμβέλειας μπορούν να επιλεγούν ελεύθερα

   

  ◆ Αυτόματη οπτική τοποθέτηση αντικειμενικού φακού υψηλής μεγέθυνσης, δεν χρειάζεται εστίαση, παρατήρηση σε πραγματικό χρόνο και τοποθέτηση της περιοχής σάρωσης δείγματος ανιχνευτή

• ◆ Μέθοδος αντικραδασμικής ανάρτησης ελατηρίου, απλή και πρακτική, καλή αντικραδασμική επίδραση

  ◆ Μεταλλικό θωρακισμένο ηχομονωμένο κουτί, ενσωματωμένος αισθητήρας θερμοκρασίας και υγρασίας υψηλής ακρίβειας, παρακολούθηση του περιβάλλοντος εργασίας σε πραγματικό χρόνο

• ◆ Ενσωματωμένος επεξεργαστής χρήστη μη γραμμικής διόρθωσης σαρωτή, χαρακτηρισμός νανομέτρων και ακρίβεια μέτρησης καλύτερη από 98%

•  

• 

• 

• 

• 

• 

• 

• 

• 

• Προσδιορισμός	A62,4500	A622.4501	A62.4503	A62.4505
  Λειτουργία εργασίας	Λειτουργία πατήματος [Προαιρετικός] Λειτουργία επαφής Λειτουργία τριβής Λειτουργία φάσης Μαγνητική Λειτουργία Ηλεκτροστατική λειτουργία	Λειτουργία επαφής Λειτουργία πατήματος [Προαιρετικός] Λειτουργία τριβής Λειτουργία φάσης Μαγνητική Λειτουργία Ηλεκτροστατική λειτουργία	Λειτουργία επαφής Λειτουργία πατήματος [Προαιρετικός] Λειτουργία τριβής Λειτουργία φάσης Μαγνητική Λειτουργία Ηλεκτροστατική λειτουργία	Λειτουργία επαφής Λειτουργία πατήματος [Προαιρετικός] Λειτουργία τριβής Λειτουργία φάσης Μαγνητική Λειτουργία Ηλεκτροστατική λειτουργία
  Καμπύλη φάσματος ρεύματος	Καμπύλη RMS-Z [Προαιρετικός] Καμπύλη δύναμης FZ	Καμπύλη RMS-Z Καμπύλη δύναμης FZ	Καμπύλη RMS-Z Καμπύλη δύναμης FZ	Καμπύλη RMS-Z Καμπύλη δύναμης FZ
  Εύρος σάρωσης XY	20×20μ	20×20μ	50×50μ	50×50μ
  Ανάλυση σάρωσης XY	0,2 nm	0,2 nm	0,2 nm	0,2 nm
  Z Εύρος σάρωσης	2,5 μ	2,5 μ	5 μμ	5 μμ
  Y Ανάλυση σάρωσης	0,05 nm	0,05 nm	0,05 nm	0,05 nm
  Ταχύτητα σάρωσης	0,6Hz~30Hz	0,6Hz~30Hz	0,6Hz~30Hz	0,6Hz~30Hz
  Γωνία σάρωσης	0~360°	0~360°	0~360°	0~360°
  Το μέγεθος του δείγματος	Φ≤90mm Υ≤20 mm	Φ≤90mm Υ≤20 mm	Φ≤90mm Υ≤20 mm	Φ≤90mm Υ≤20 mm
  XY Stage Moving	15×15mm	15×15mm	25×25μ	25×25μ
  Σχέδιο απορρόφησης κραδασμών	Ανάρτηση ελατηρίου	Ανάρτηση ελατηρίου Μεταλλικό κουτί θωράκισης	Ανάρτηση ελατηρίου Μεταλλικό κουτί θωράκισης	-
  Οπτικό Σύστημα	4x Στόχος Ανάλυση 2,5um	4x Στόχος Ανάλυση 2,5um	10x Στόχος Ανάλυση 1um	Προσοφθάλμιο 10x Infinity Plan LWD APO 5x10x20x50x Ψηφιακή κάμερα 5.0M Οθόνη LCD 10" με μέτρηση Φωτισμός LED Kohler Ομοαξονική χονδροειδής & λεπτή εστίαση
  Παραγωγή	USB2.0/3.0	USB2.0/3.0	USB2.0/3.0	USB2.0/3.0
  Λογισμικό	Κερδίστε XP/7/8/10	Κερδίστε XP/7/8/10	Κερδίστε XP/7/8/10	Κερδίστε XP/7/8/10

• Μικροσκόπιο	Οπτικό Μικροσκόπιο	Ηλεκτρονικό μικροσκόπιο	Μικροσκόπιο ανιχνευτή σάρωσης
  Μέγιστη ανάλυση (um)	0,18	0,00011	0,00008
  Παρατήρηση	Εμβάπτιση λαδιού 1500x	Απεικόνιση ατόμων άνθρακα διαμαντιού	Απεικόνιση γραφικών ατόμων άνθρακα υψηλής τάξης

• Αλληλεπίδραση ανιχνευτή-δείγματος	Σήμα μέτρησης	Πληροφορίες
  Δύναμη	Ηλεκτροστατική Δύναμη	Σχήμα
  Ρεύμα σήραγγας	Ρεύμα	Σχήμα, Αγωγιμότητα
  Μαγνητική δύναμη	Φάση	Μαγνητική Δομή
  Ηλεκτροστατική Δύναμη	Φάση	διανομή χρέωσης

• 	Ανάλυση	Κατάσταση Λειτουργίας	Θερμοκρασία εργασίας	Ζημιά στο δείγμα	Βάθος Επιθεώρησης
  SPM	Επίπεδο ατόμου 0,1 nm	Κανονικό, Υγρό, Κενό	Δωμάτιο ή χαμηλή θερμοκρασία	Κανένας	1~2 Επίπεδο Ατόμου
  ΤΕΜ	Σημείο 0,3~0,5 nm Πλέγμα 0,1~0,2 nm	Υψηλό κενό	Θερμοκρασία δωματίου	Μικρό	Συνήθως <100nm
  SEM	6-10 nm	Υψηλό κενό	Θερμοκρασία δωματίου	Μικρό	10mm @10x 1um @10000x
  FIM	Επίπεδο ατόμου 0,1 nm	Super High Vaccum	30~80 χιλ	Ζημιά	Πάχος ατόμου

• 
•  
•  

•