Προσδιορισμός |
A62,4500 |
A622.4501 |
A62.4503 |
A62.4505 |
Λειτουργία εργασίας |
Λειτουργία πατήματος
[Προαιρετικός] Λειτουργία επαφής Λειτουργία τριβής Λειτουργία φάσης Μαγνητική Λειτουργία Ηλεκτροστατική λειτουργία |
Λειτουργία επαφής Λειτουργία πατήματος
[Προαιρετικός] Λειτουργία τριβής Λειτουργία φάσης Μαγνητική Λειτουργία Ηλεκτροστατική λειτουργία |
Λειτουργία επαφής Λειτουργία πατήματος
[Προαιρετικός] Λειτουργία τριβής Λειτουργία φάσης Μαγνητική Λειτουργία Ηλεκτροστατική λειτουργία |
Λειτουργία επαφής Λειτουργία πατήματος
[Προαιρετικός] Λειτουργία τριβής Λειτουργία φάσης Μαγνητική Λειτουργία Ηλεκτροστατική λειτουργία |
Καμπύλη φάσματος ρεύματος |
Καμπύλη RMS-Z
[Προαιρετικός] Καμπύλη δύναμης FZ |
Καμπύλη RMS-Z Καμπύλη δύναμης FZ |
Καμπύλη RMS-Z Καμπύλη δύναμης FZ |
Καμπύλη RMS-Z Καμπύλη δύναμης FZ |
Εύρος σάρωσης XY |
20×20μ |
20×20μ |
50×50μ |
50×50μ |
Ανάλυση σάρωσης XY |
0,2 nm |
0,2 nm |
0,2 nm |
0,2 nm |
Z Εύρος σάρωσης |
2,5 μ |
2,5 μ |
5 μμ |
5 μμ |
Y Ανάλυση σάρωσης |
0,05 nm |
0,05 nm |
0,05 nm |
0,05 nm |
Ταχύτητα σάρωσης |
0,6Hz~30Hz |
0,6Hz~30Hz |
0,6Hz~30Hz |
0,6Hz~30Hz |
Γωνία σάρωσης |
0~360° |
0~360° |
0~360° |
0~360° |
Το μέγεθος του δείγματος |
Φ≤90mm Υ≤20 mm |
Φ≤90mm Υ≤20 mm |
Φ≤90mm Υ≤20 mm |
Φ≤90mm Υ≤20 mm |
XY Stage Moving |
15×15mm |
15×15mm |
25×25μ |
25×25μ |
Σχέδιο απορρόφησης κραδασμών |
Ανάρτηση ελατηρίου |
Ανάρτηση ελατηρίου Μεταλλικό κουτί θωράκισης |
Ανάρτηση ελατηρίου Μεταλλικό κουτί θωράκισης |
- |
Οπτικό Σύστημα |
4x Στόχος Ανάλυση 2,5um |
4x Στόχος Ανάλυση 2,5um |
10x Στόχος Ανάλυση 1um |
Προσοφθάλμιο 10x Infinity Plan LWD APO 5x10x20x50x Ψηφιακή κάμερα 5.0M Οθόνη LCD 10" με μέτρηση Φωτισμός LED Kohler Ομοαξονική χονδροειδής & λεπτή εστίαση |
Παραγωγή |
USB2.0/3.0 |
USB2.0/3.0 |
USB2.0/3.0 |
USB2.0/3.0 |
Λογισμικό |
Κερδίστε XP/7/8/10 |
Κερδίστε XP/7/8/10 |
Κερδίστε XP/7/8/10 |
Κερδίστε XP/7/8/10 |