| Σαρωτικό Ηλεκτρονικό Μικροσκόπιο με νήμα βολφραμίου (SEM) |
| |
A63.7006 |
A63.7015 |
| Ανάλυση |
15nm@30KV(SE) |
5nm@30KV(BSE) |
| Μεγέθυνση |
20x~60000x |
20x~150000x |
| Ηλεκτρονικό όπλο |
Προ-κεντραρισμένο φυσίγγιο νήματος βολφραμίου, σύστημα αυτόματης τάσης πόλωσης |
| Τάση |
Τάση επιτάχυνσης 1KV έως 30KV, 1KV/5KV/10KV/15KV/20KV/30KV-6 Βήματα |
| Σύστημα φακών |
Φακός συμπυκνωτή 2 σταδίων, Φακός αντικειμένου 1 σταδίου |
| Διάφραγμα |
- |
Ρυθμιζόμενο διάφραγμα ίριδας 30/50/50/100um, Αλλαγή ηλεκτρονικής δέσμης για λήψη εικόνας υψηλής ανάλυσης |
| Σύστημα κενού |
Περιστροφική αντλία, 100 λίτρα/λεπτό Μοριακή αντλία Turbo, 70 λίτρα/δευτ. Χρόνος άντλησης<3 Minutes Πλήρως αυτόματος έλεγχος κενού |
| Ανιχνευτής |
SE: Ανιχνευτής δευτερογενών ηλεκτρονίων |
| BSE: Ανιχνευτής οπισθοσκέδασης (Προαιρετικό) |
| EDS: (Προαιρετικό) |
| Σκηνή εργασίας δείγματος |
Σύστημα 3 αξόνων, άξονας X, Y: 35mm / άξονας R: 360° |
Σύστημα 5 αξόνων, άξονας X, Y: 35mm / άξονας R: 360°, Z: 0~22mm / άξονας κλίσης: 0~45° |
| Μέγιστο δείγμα |
70mm σε διάμετρο, 30mm σε ύψος |
80mm σε διάμετρο, 35mm σε ύψος |
| Μετατόπιση εικόνας |
Μετατόπιση εικόνας X, Y ±150um |
| Σύστημα σάρωσης εικόνας |
Γρήγορη σάρωση: 320x240 (Χρόνος σάρωσης: 0,1 δευτ.) Αργή σάρωση: 640x480 (Χρόνος σάρωσης: 3 δευτ.) Λειτουργία φωτογραφίας 1: 1280x960 Λειτουργία φωτογραφίας 2: 2560x1920 Λειτουργία φωτογραφίας 3: 5120x3840 |
| Μορφή εικόνας |
BMP, JPEG, PNG, TIFF |
| Αυτόματη λειτουργία |
Αυτόματη εκκίνηση, αυτόματη εστίαση, αυτόματη φωτεινότητα/αντίθεση |
| Εμφάνιση φωτογραφίας |
Μεγέθυνση, τύπος ανιχνευτή, τάση επιτάχυνσης, λειτουργία κενού, λογότυπο (κείμενο), ημερομηνία και ώρα, δείκτης κειμένου, γραμμή κλίμακας κ.λπ. |
| Υπολογιστής & Λογισμικό |
Σταθμός εργασίας PC Win 10 System, Με επαγγελματικό λογισμικό ανάλυσης εικόνας για πλήρη έλεγχο ολόκληρης της λειτουργίας του μικροσκοπίου SEM, Προδιαγραφές υπολογιστή όχι λιγότερο από Inter I5 3.2GHz, 4G Μνήμη, 24" IPS LCD Monitor, 500G Σκληρός δίσκος, Ποντίκι, Πληκτρολόγιο |
| Μέγεθος & Βάρος |
Σώμα μικροσκοπίου 460x600x950mm, Συνολικό βάρος 95Kg |
| A63.7006, A63.7015 Τυπικό κιτ εργαλείων & εξαρτημάτων |
| 1 |
Προ-κεντραρισμένο νήμα βολφραμίου |
3 τεμ./κουτί |
| 2 |
Σκηνή δείγματος Διαμ. 15mm |
5 τεμ. |
| 3 |
Σκηνή δείγματος Διαμ. 25mm |
5 τεμ. |
| 4 |
Σκηνή δείγματος Διαμ. 15mm 45° Κλίση |
3 τεμ. |
| 5 |
Σκηνή δείγματος Διαμ. 15mm 90° Κλίση |
3 τεμ. |
| 6 |
Βασικός οδηγός ύψους |
1 τεμ. |
| 7 |
Κλειδί Allen |
1 σετ |
| 8 |
CD λογισμικού SEM |
1 τεμ. |
| 9 |
Ταινία αγώγιμου άνθρακα) |
1 τεμ. |
| 10 |
Ψαλίδι |
1 τεμ. |
| 11 |
Αυριλάβε |
1 τεμ. |
| 12 |
Τσιμπίδες |
1 τεμ. |