| Μικροσκόπιο ηλεκτρονικών σαρώσεων με νήματα βολφραμίου (SEM) |
| |
Α63.7006 |
Α63.7015 |
| Απόφαση |
15nm@30KV ((SE) |
5nm@30KV ((BSE) |
| Μεγέθυνση |
20x~60000x |
20x~150000x |
| Πυροβόλο ηλεκτρονίων |
Προκεντρωμένο φυσίγγιο ινών βολφραμίου, αυτοματοποιημένο σύστημα μεθυσμένης τάσης |
| Τετάρτη |
Η τάση επιτάχυνσης 1KV έως 30KV, 1KV/5KV/10KV/15KV/20KV/30KV-6 βήματα |
| Σύστημα φακών |
Δύο σταδίων ηλεκτρομαγνητικός πυκνωτής φακούς, 1 σταδίου ηλεκτρομαγνητικός φακός |
| Ανοιχτότητα |
- |
Ρυθμίσιμο διάφραγμα ίριδας 30/50/50/100um, αλλαγή ηλεκτροκηλίδας για υψηλής ανάλυσης εικόνα |
| Σύστημα κενού |
Ροταριακή αντλία, 100 λίτρα/min Τουρβομοριακή αντλία, 70 λίτρα/δευτερόλεπτο Πυροδοσία Tχρόνος <3 λεπτά Πλήρως αυτόματο έλεγχο κενού |
| Ανιχνευτής |
ΔΕ: Δευτερογενής ανιχνευτής ηλεκτρονίων |
| ΒSE: Ανιχνευτής πίσω διάχυσης (προαιρετικός) |
| ΕΔΣ: (προαιρετικό) |
| Εργασιακό στάδιο δείγματος |
3 άξονες Σύστημα,άξονας Χ, Y: 35mm / άξονας R: 360° |
5 άξονες Σύστημα, άξονας X, Y: 35mm / άξονας R: 360°, Z: 0~22mm / άξονας κλίσης: 0~45° |
| Μέγιστο δείγμα |
70mm σε διάμετρο, 30mm σε ύψος |
80mm σε διάμετρο, 35mm σε ύψος |
| Μεταβολή εικόνας |
Μετατόπιση εικόνας X, Y ±150um |
| Σύστημα σάρωσης εικόνας |
Γρήγορη σάρωση: 320x240 (Χρόνος σάρωσης: 0,1 δευτερόλεπτα) Αργή σάρωση: 640x480 (Χρόνος σάρωσης: 3 δευτερόλεπτα) Φωτογραφική λειτουργία 1: 1280x960 Φωτογραφική λειτουργία 2: 2560x1920 Φωτογραφική λειτουργία 3: 5120x3840 |
| Μορφή εικόνας |
BMP, JPEG, PNG, TIFF |
| Λειτουργία αυτόματης λειτουργίας |
Αυτόματη εκκίνηση, αυτόματη εστίαση, αυτόματη φωτεινότητα/αντίθεση |
| Δείκτης φωτογραφίας |
Μεγέθυνση, τύπος ανιχνευτή, επιταχυνόμενη τάση, κατάσταση κενού, λογότυπο (έγγραφο), ημερομηνία και ώρα, σήμα κειμένου, γραμμή κλίμακας κλπ. |
| Υπολογιστές και λογισμικό |
PC Work Station Win 10 System, με επαγγελματικό λογισμικό ανάλυσης εικόνας για τον πλήρη έλεγχο ολόκληρης της λειτουργίας του μικροσκοπίου SEM, προδιαγραφές υπολογιστή όχι μικρότερες από Inter I5 3.2GHz, μνήμη 4G,24 ιντσών οθόνη IPS LCD, 500G σκληρός δίσκος, ποντίκι, πληκτρολόγιο |
| Μέγεθος και βάρος |
Σώμα μικροσκοπίου 460x600x950mm, συνολικό βάρος 95kg |
| Α63.7006, Α63.7015 Τυπικά εργαλεία και εξαρτήματα |
| 1 |
Προκεντρικό νήμα βολφραμίου |
3 τεμάχια/κουτί |
| 2 |
Διάμετρο του σταδίου δείγματος. 15 mm |
5 τεμάχια |
| 3 |
Διάμετρο του σταδίου δείγματος. 25 mm |
5 τεμάχια |
| 4 |
Διάμετρος στάδιο δείγματος. 15 mm 45° κλίση |
3 τεμάχια |
| 5 |
Διάμετρος στάδιο δείγματος. 15 mm 90° κλίση |
3 τεμάχια |
| 6 |
Υψόμετρος Standard Master |
1 εκατ. |
| 7 |
Άλεν Κραντς |
1 σύνολο |
| 8 |
CD λογισμικού SEM |
1 εκατ. |
| 9 |
Ηλεκτρονική ταινία) |
1 εκατ. |
| 10 |
Τσιγαριές |
1 εκατ. |
| 11 |
Αουριλάβ |
1 εκατ. |
| 12 |
Πιέτες |
1 εκατ. |