| Α63.7080, A63.7081 Κύρια λειτουργία λογισμικού | ||
| Ενσωματωμένη λειτουργία υψηλής τάσης | Ενεργοποίηση / απενεργοποίηση αυτοματοποιημένου νήματος | Δυναμική ρύθμιση των βάρδιων |
| Ρυθμίσεις φωτεινότητας | Ηλεκτρική ρύθμιση σε κεντρικό σύστημα | Αυτόματη φωτεινότητα |
| Ρυθμίσεις αντίθεσης | Προσαρμογή φακού | Αυτόματη εστίαση |
| Ρυθμίσεις μεγέθυνσης | Σκοπός αποκαύσης | Αυτόματη εξάλειψη του αστιγματισμού |
| Επιλεγμένη λειτουργία σάρωσης περιοχής | Ηλεκτρική ρύθμιση περιστροφής | Διαχείριση παραμέτρων μικροσκοπίου |
| Τρόπος ανίχνευσης σημείων | Ρυθμίσεις μετατόπισης δέσμης ηλεκτρονίων | Εμφάνιση σε πραγματικό χρόνο του μεγέθους πεδίου σάρωσης |
| Τρόπος σάρωσης γραμμής | Ρυθμισμός κλίσης δέσμης ηλεκτρονίων | Ρυθμισμός φακού του όπλου |
| Σκανάρισμα επιφάνειας | Ρυθμίσεις ταχύτητας σάρωσης | Πολυκαναλική είσοδος |
| Παρακολούθηση ισχύος υψηλής τάσης | Κέντρο κλίσης | Μέτρηση κανόνα |
| ΣΕΜ | Α63.7069 Α63.7069-Λ Α63.7069-LV |
Α63.7080 Α63.7080-Λ |
Α63.7081 |
| Απόφαση | 3nm@30KV ((SE) 6nm@30KV ((BSE) |
1.5nm@30KV(SE) 3nm@30KV ((BSE) |
1.0nm@30KV(SE) 3.0nm@1KV(SE) 2.5nm@30KV ((BSE) |
| Μεγέθυνση | 1x~450000x,Αρνητική αληθινή μεγέθυνση | 1x~600000x, αρνητική αληθινή μεγέθυνση | 1x~3000000x αρνητική αληθινή μεγέθυνση |
| Πυροβόλο ηλεκτρονίων | Προκεντρωμένο φυσίγγιο νήματος βολφραμίου | Πυροβόλο εκπομπών Schottky Field | Πυροβόλο εκπομπών Schottky Field |
| Τετάρτη | Τετάρτη 0!2Επικεφαλής30kV, συνεχώς ρυθμιζόμενο, ρυθμιστικό βήμα 100V@0-10Kv, 1KV@10-30Kv | ||
| Σύντομη προβολή | Ένα κλειδί γρήγορη προβολή εικόνας λειτουργία | Α/Χ | Α/Χ |
| Σύστημα φακών | Τριεπίπεδα Ηλεκτρομαγνητικά Κωνικά Λινσάκια | Πολυεπίπεδα Ηλεκτρομαγνητικά Κομβικά Λινσάκια | |
| Ανοιχτότητα | 3 Μολυβδανίου Ανοιχτήρες αντικειμένου, ρυθμιζόμενο εκτός του συστήματος κενού, δεν χρειάζεται να αποσυναρμολογήσει το αντικείμενο για να αλλάξει το άνοιγμα | ||
| Σύστημα κενού | 1 Μοριακή αντλία τύπου τουρμ 1 Μηχανική αντλία Κενό αίθουσας δειγματοληψίας> 2,6E-3Pa Δωμάτιο ηλεκτρονικού όπλου κενό> 2,6E-3Pa Πλήρως αυτόματο έλεγχο κενού Λειτουργία διακόπτη κενού Προαιρετικό μοντέλο: A63.7069-LV 1 Μοριακή αντλία τύπου τουρμ 2Μηχανικές αντλίες Κενό αίθουσας δειγματοληψίας> 2,6E-3Pa Δωμάτιο ηλεκτρονικού όπλου κενό> 2,6E-3Pa Πλήρως αυτόματο έλεγχο κενού Λειτουργία διακόπτη κενού Χαμηλό κενόΠεριοχή 10 ~ 270Pa για ταχεία αλλαγή σε 90 δευτερόλεπτα για BSE ((LV) |
1 σύνολο αντλιών ιόντων 1 Μοριακή αντλία τύπου τουρμ 1 Μηχανική αντλία Κενό αίθουσας δειγματοληψίας> 6E-4Pa Δωμάτιο ηλεκτρονικού όπλου κενό> 2E-7 Pa Πλήρως αυτόματο έλεγχο κενού Λειτουργία διακόπτη κενού |
1 αντλία ιόντων σπινθήρα 1 αντλία ιόντων Getter 1 Μοριακή αντλία τύπου τουρμ 1 Μηχανική αντλία Κενό αίθουσας δειγματοληψίας> 6E-4Pa Δωμάτιο ηλεκτρονικού όπλου κενό> 2E-7 Pa Πλήρως αυτόματο έλεγχο κενού Λειτουργία διακόπτη κενού |
| Ανιχνευτής | ΕΣ: Ανιχνευτής δευτερογενών ηλεκτρονίων υψηλού κενού (με προστασία ανιχνευτή) | ΕΣ: Ανιχνευτής δευτερογενών ηλεκτρονίων υψηλού κενού (με προστασία ανιχνευτή) | ΕΣ: Ανιχνευτής δευτερογενών ηλεκτρονίων υψηλού κενού (με προστασία ανιχνευτή) |
| BSE: Ημιαγωγός 4 Διαχωρισμός Ανιχνευτής πίσω διάσπαρσης |
Προαιρετικό | Προαιρετικό | |
| Προαιρετικό μοντέλο: A63.7069-LV ΕΜΣ(LV): Ημιαγωγός 4 Τμήμα Ανιχνευτής πίσω διάσπαρσης |
|||
| ΚΑΠ:Κάμερα CCD υπέρυθρου | ΚΑΠ:Κάμερα CCD υπέρυθρου | ΚΑΠ:Κάμερα CCD υπέρυθρου | |
| Επέκταση λιμένα | 2 Επεκτάστε τα λιμάνια στο χώρο δειγματοληψίας EDS, BSD, WDS κλπ. |
4 Επέκταση των λιμένων στο χώρο δειγματοληψίας για ΒSE, EDS, BSD, WDS κλπ. |
4 Επέκταση των λιμένων στο χώρο δειγματοληψίας για ΒSE, EDS, BSD, WDS κλπ. |
| Στάδιο δείγματος | 5 Άξονες Στάδιο, 4Αυτοκίνητο+ 1ΕγχειρίδιοΈλεγχος Πεδίο οδήγησης: X=70mm, Y=50mm, Z=45mm, R=360°, T=-5°~+90° ((Διαχειριστήριο) Χρησιμοποιήστε την λειτουργία Touch Alert & Stop Προαιρετικό μοντέλο: Α63.7069-Λ5 Άξονες Αυτοσχέδιο μεγάλης σκηνής |
5 ΆξονεςΑυτοκίνητο ΜεσαίοΣτάδιο Πεδίο οδήγησης: Χ = 80mm, Y = 50mm, Z = 30mm, R=360°, T=-5°~+70° Χρησιμοποιήστε την λειτουργία Touch Alert & Stop Προαιρετικό μοντέλο: Α63.7080-Λ5 ΆξονεςΑυτοκίνητο ΜεγάλοΣτάδιο |
5 ΆξονεςΑυτοκίνητο ΜεγάλοΣτάδιο Πεδίο οδήγησης: X=150mm, Y=150mm, Z=60mm, R=360°, T=-5°~+70° Χρησιμοποιήστε την λειτουργία Touch Alert & Stop |
| Μέγιστο δείγμα | Διάμετρο 175mm, ύψος 35mm | Διάμετρο 175mm, ύψος 20mm | Διάμετρο 340 mm, ύψος 50 mm |
| Σύστημα εικόνας | Αληθινή ακίνητη εικόνα με μέγιστη ανάλυση 4096x4096 Pixels, Φόρμα αρχείου εικόνας: BMP (προεπιλεγμένο), GIF, JPG, PNG, TIF |
Αληθινή ακίνητη εικόνα με μέγιστη ανάλυση 16384x16384 Pixels, Τύπος αρχείου εικόνας: TIF (προεπιλεγμένο), BMP, GIF, JPG, PNG Βίντεο: Αυτόματη εγγραφή ψηφιακή.AVI βίντεο |
Αληθινή ακίνητη εικόνα με μέγιστη ανάλυση 16384x16384 Pixels, Τύπος αρχείου εικόνας: TIF (προεπιλεγμένο), BMP, GIF, JPG, PNG Βίντεο: Αυτόματη εγγραφή ψηφιακή.AVI βίντεο |
| Υπολογιστές και λογισμικό | PC Work Station Win 10 System, με επαγγελματικό λογισμικό ανάλυσης εικόνας για τον πλήρη έλεγχο ολόκληρης της λειτουργίας του μικροσκοπίου SEM, προδιαγραφές υπολογιστή όχι μικρότερες από Inter I5 3.2GHz, μνήμη 4G,24 ιντσών οθόνη IPS LCD, 500G σκληρός δίσκος, ποντίκι, πληκτρολόγιο | ||
| Δείκτης φωτογραφίας | Το επίπεδο εικόνας είναι πλούσιο και σχολαστικό, δείχνοντας μεγέθυνση σε πραγματικό χρόνο, κανόνα, τάση, γκρι καμπύλη | ||
| Διάσταση & Βάρος |
Σώμα μικροσκοπίου 800x800x1850mm Εργασιακό τραπέζι 1340x850x740mm Συνολικό βάρος 400 κιλά |
Σώμα μικροσκοπίου 800x800x1480mm Εργασιακό τραπέζι 1340x850x740mm Συνολικό βάρος 450 κιλά |
Σώμα μικροσκοπίου 1000x1000x1730mm Εργασιακό τραπέζι 1330x850x740mm Συνολικό βάρος 550 κιλά |
| Προαιρετικά αξεσουάρ | |||
| Προαιρετικά αξεσουάρ | Α50.7002Δείκτης ακτίνων Χ διασκορπιστικής ενέργειας EDS Α50.7011Εφοδιασμός με ιόντα (Ion Sputtering Coating) |
Α50.7001Ανιχνευτής ηλεκτρονίων εκτροπής BSE Α50.7002Δείκτης ακτίνων Χ διασκορπιστικής ενέργειας EDS Α50.7011Εφοδιασμός με ιόντα (Ion Sputtering Coating) Α50.7030Πίνακα ελέγχου κινητήρα |
Α50.7001Ανιχνευτής ηλεκτρονίων εκτροπής BSE Α50.7002Δείκτης ακτίνων Χ διασκορπιστικής ενέργειας EDS Α50.7011Εφοδιασμός με ιόντα (Ion Sputtering Coating) Α50.7030Πίνακα ελέγχου κινητήρα |
| Α50.7001 | Ανιχνευτής ΣΕΒ | Ηλεκτρονικός ανιχνευτής οπισθοδρόμησης τεσσάρων τμημάτων ημιαγωγών. Διαθέσιμο στα συστατικά Α+Β, Μορφολογικές πληροφορίες Α-Β. Διαθέσιμα δείγματα παρακολούθησης χωρίς ψεκασμό χρυσού Διατίθεται σε Παρατηρήστε ακαθαρσία και διανομή από χάρτη γκρέισκελ άμεσα. |
| Α50.7002 | Ηλεκτρονικό σύστημα ανίχνευσης ακτίνων Χ (EDS) | Το νιτρώδιο του πυριτίου (Si3N4) παράθυρο για τη βελτιστοποίηση της μετάδοσης ακτίνων Χ χαμηλής ενέργειας για την ανάλυση ελαφρών στοιχείων. Εξαιρετική ανάλυση και τα προηγμένα ηλεκτρονικά τους χαμηλού θορύβου παρέχουν εξαιρετική απόδοση. Το μικρό αποτύπωμα προσφέρει ευελιξία για να εξασφαλιστεί η ιδανική γεωμετρία και οι συνθήκες συλλογής AATA. Οι ανιχνευτές περιέχουν ένα τσιπ 30mm2. |
| Α50.7003 | EBSD (Αναστραμμένη διάσπαση δέσμης ηλεκτρονίων) | Ο χρήστης θα μπορούσε να αναλύσει τον κρυσταλλικό προσανατολισμό, την κρυσταλλική φάση και τη μικροδομή των υλικών και την απόδοση των σχετικών υλικών, κλπ. αυτόματη βελτιστοποίηση των ρυθμίσεων της κάμερας EBSD κατά τη διάρκεια της συλλογής δεδομένων, πραγματοποιεί διαδραστική ανάλυση σε πραγματικό χρόνο για να αποκτήσει τις μέγιστες πληροφορίες Όλα τα δεδομένα ήταν σημαδεμένα με χρονική ετικέτα, η οποία μπορεί να δει οποιαδήποτε στιγμή. υψηλής ανάλυσης 1392 x 1040 x 12 Ταχύτητα σάρωσης και δείκτη: 198 σημεία / δευτερόλεπτο, με Ni ως πρότυπο, υπό την προϋπόθεση 2~5nA, μπορεί να εξασφαλίσει το ποσοστό δείκτη ≥99%· λειτουργεί καλά υπό την προϋπόθεση χαμηλού ρεύματος δέσμης και χαμηλής τάσης 5kV σε 100pA ακρίβεια μέτρησης προσανατολισμού: Καλύτερη από 0,1 βαθμούς Χρησιμοποιώντας σύστημα τριπλού δείκτη: δεν χρειάζεται να βασιστείτε στον ορισμό μίας ζώνης, εύκολη ευρετηρίαση κακής ποιότητας μοτίβου ειδική βάση δεδομένων: ειδική βάση δεδομένων EBSD που λαμβάνεται με διάσπαση ηλεκτρονίων: >400 δομή φάσης Δυνατότητα δεικτών: μπορεί να δεικτώνει αυτόματα όλα τα κρυσταλλικά υλικά 7 κρυσταλλικών συστημάτων. Οι προηγμένες επιλογές περιλαμβάνουν τον υπολογισμό της ελαστικής δυσκαμψίας (Elastic Stiffness), του συντελεστή Taylor (Taylor), του συντελεστή Schmidt (Schmidt) και ούτω καθεξής. |
| Α50.7010 | Μηχανή επικάλυψης | Κρύπτης γυαλιού: 250 mm· ύψος 340 mm· Θάλαμος επεξεργασίας γυαλιού: 88 χιλιοστά, 140 χιλιοστά ψηλά, 88 χιλιοστά ψηλά, 57 χιλιοστά ψηλά. Μέγεθος στάθμης δείγματος: ¥40 mm (μέγιστο) · Σύστημα κενού: αντλία μορίων και μηχανική αντλία. Ανίχνευση κενού: μέτρηση Pirani. Βρύση:καλύτερη από 2 × 10-3 Pa. Προστασία υπό κενό: 20 Pa με βαλβίδα φούσκωσης μικροσκοπικής κλίμακας. Κίνηση δείγματος: περιστροφή του αεροπλάνου, προετοιμασία κλίσης. |
| Α50.7011 | Εφοδιασμός με ιόντα (Ion Sputtering Coating) | Θάλαμος επεξεργασίας γυαλιού: 100 mm, ύψος 130 mm. Μέγεθος στάθμης δείγματος: 40 mm ((Κρατήστε 6 κύπελλα δείγματος) ; Χρυσό στόχο Μέγεθος: 58mm*0.12mm(δυναμικότητα); Ανίχνευση κενού: μέτρηση Pirani. Προστασία υπό κενό: 20 Pa με βαλβίδα φούσκωσης μικροσκοπικής κλίμακας. Μεσαίο αέριο: αργκόνιο ή αέρας με ειδική είσοδο αέρα και ρυθμιστικό αέριο σε μικροκλίμακα. |
| Α50.7012 | Εφοδιασμός με ιόντα αργονίου | Το δείγμα ήταν επιχρισμένο με άνθρακα και χρυσό κάτω από υψηλό κενό. Εναλλακτικός πίνακας δειγματοληψίας, ομοιόμορφη επίστρωση, μέγεθος σωματιδίων περίπου 3-5nm. Καμία επιλογή του υλικού-στόχου, καμία ζημιά στα δείγματα. Οι λειτουργίες του καθαρισμού ιόντων και της αραίωσης ιόντων μπορούν να πραγματοποιηθούν. |
| Α50.7013 | Σημαντικό σημείο στεγνωτήρα | Εσωτερική διάμετρος: 82 mm, εσωτερικό μήκος: 82 mm. Περιοχή πίεσης:0-2000psi. Περιοχή θερμοκρασίας: 0°-50° C (32°-122° F) |
| Α50.7014 | Λιθογραφία ακτίνας ηλεκτρονίων | Με βάση το ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης, αναπτύχθηκε ένα νέο σύστημα νανο-έκθεσης. Η τροποποίηση έχει διατηρήσει όλες τις λειτουργίες Sem για την κατασκευή της εικόνας πλάτους γραμμής σε νανοκλίμακα. Το τροποποιημένο σύστημα Ebl εφαρμόζεται ευρέως σε μικροηλεκτρονικές συσκευές, οπτοηλεκτρονικές συσκευές, συσκευές κβαντού, έρευνα και ανάπτυξη μικροηλεκτρονικών συστημάτων. |
| Α63.7080, Α63.7081 Τυπική διάθεση καταναλωτικών | |||
| 1 | Νήμα εκπομπής πεδίου | Εγκατασταμένα Με Μικροσκόπιο | 1 μ.σ. |
| 2 | Κύπελλο δείγματος | Διάμετρο 13 mm | 3 τεμάχια |
| 3 | Κύπελλο δείγματος | Διά.32 χιλιοστά | 5 τεμάχια |
| 4 | Καρβονική διπλής όψης αγωγική ταινία | 6 χιλιοστά | 1 μ.σ. |
| 5 | Ελαιόλαδο κενού | 50g (Δεν παρέχεται εάν η αποστολή πραγματοποιείται αεροπορικώς) | 1 μ.σ. |
| 6 | Χωρίς τρίχες ύφασμα | 10pcs | |
| 7 | Πλάστα γυάλωσης | (Δεν παρέχεται εάν η αποστολή γίνεται αεροπορικώς) | 1 μ.σ. |
| 8 | Πλαίσιο δείγματος | 1 μ.σ. | |
| 9 | Ακατέργαστο υλικό | 100 τεμάχια/σακούλα | 2 σακούλες |
| 10 | Φίλτρο ομίχλης πετρελαίου | 1 μ.σ. | |
| Α63.7080, A63.7081 Τυπικά εργαλεία και εξαρτήματα | |||
| 1 | Εσωτερικός εξαγωνικός σφραγίστης | 1.5mm~10mm | 1 σύνολο |
| 2 | Πιέτες | Μέγεθος 100-120 mm | 1 μ.σ. |
| 3 | Στροβιλιστήρας με τρύπα | 2*50mm, 2*125mm | 2 τεμάχια |
| 4 | Διασταυρούμενο κατσαβίδι | 2*125 μμ | 1 μ.σ. |
| 5 | Καθαρός σωλήνας εξαερισμού | Διάμετρος 10/6,5 mm ((Εξωτερική διάμετρος/Εσωτερική διάμετρος) | 5 μέτρα |
| 6 | Βαλβίδα μείωσης πίεσης εξαερισμού | Πίεση εξόδου 0-0,6MPa | 1 μ.σ. |
| 7 | Εσωτερική τροφοδοσία ηλεκτρικής ενέργειας ψησίματος | 0-3A συνεχές ρεύμα | 2 τεμάχια |