A63.7080, κύρια λειτουργία λογισμικού A63.7081 | ||
Ενσωματωμένη υψηλή τάση ανάθεση | Αυτόματο ινών/μακριά | Πιθανός κανονισμός μετατόπισης |
Ρύθμιση φωτεινότητας | Ηλεκτρική έως κεντρική ρύθμιση | Αυτόματη φωτεινότητα |
Ρύθμιση αντίθεσης | Αντικειμενική ρύθμιση φακών | Αυτόματη εστίαση |
Ρύθμιση ενίσχυσης | Αντικειμενική απομαγνήτιση | Αυτόματη αποβολή αστιγματισμού |
Επιλεγμένος τρόπος ανίχνευσης περιοχής | Ηλεκτρική ρύθμιση περιστροφής | Διαχείριση των παραμέτρων μικροσκοπίων |
Τρόπος ανίχνευσης σημείου | Ρύθμιση μετατοπίσεων δεσμών ηλεκτρονίων | Πραγματικός - χρονική επίδειξη του μεγέθους τομέων ανίχνευσης |
Τρόπος ανίχνευσης γραμμών | Ρύθμιση κλίσης δεσμών ηλεκτρονίων | Ρύθμιση φακών πυροβόλων όπλων |
Ανίχνευση επιφάνειας | Ρύθμιση ταχύτητας ανίχνευσης | Πολυδιαυλική εισαγωγή |
Έλεγχος δύναμης υψηλής τάσης | Να στραφεί ταλάντευσης | Μέτρηση κυβερνητών |
SEM | A63.7069 | A63.7080 | A63.7081 |
Ψήφισμα | το 3nm@30KV (SE) το 6nm@30KV (EBS) |
το 1.5nm@30KV (SE) το 3nm@30KV (EBS) |
το 1.0nm@30KV (SE) το 3.0nm@1KV (SE) το 2.5nm@30KV (EBS) |
Ενίσχυση | 8x~300000x αρνητική αληθινή ενίσχυση | 8x~800000x αρνητική αληθινή ενίσχυση | 6x~1000000x αρνητική αληθινή ενίσχυση |
Πυροβόλο όπλο ηλεκτρονίων | Προ-κεντροθετημένη κασέτα ινών βολφραμίου | Πυροβόλο όπλο εκπομπής τομέων Schottky | Πυροβόλο όπλο εκπομπής τομέων Schottky |
Τάση | Η επιταχύνοντας τάση 0~30KV, συνεχής διευθετήσιμος, ρυθμίζει το βήμα το 100V@0-10Kv, το 1KV@10-30KV | ||
Γρήγορη άποψη | Μια βασική γρήγορη λειτουργία εικόνας άποψης | ΑΠΡΟΣΔΙΟΡΙΣΤΟΣ | ΑΠΡΟΣΔΙΟΡΙΣΤΟΣ |
Σύστημα φακών | Ηλεκτρομαγνητικός εκλεπτυμένος φακός τρεις-επιπέδων | Ηλεκτρομαγνητικός εκλεπτυμένος φακός πολυ-επιπέδων | |
Άνοιγμα | 3 τα αντικειμενικά ανοίγματα μολυβδαίνιου, διευθετήσιμα έξω από το κενό σύστημα, καμία ανάγκη αποσυνθέτουν το στόχο για να αλλάξουν το άνοιγμα | ||
Κενό σύστημα | 1 στροβιλο μοριακή αντλία 1 μηχανική αντλία Αίθουσα Vacuum>2.6E-3Pa δειγμάτων Αίθουσα Vacuum>2.6E-3Pa πυροβόλων όπλων ηλεκτρονίων Πλήρως αυτόματος κενός έλεγχος Κενή λειτουργία συναρμολογήσεων Προαιρετικό πρότυπο: A63.7069-LV 1 στροβιλο μοριακή αντλία 2 μηχανικές αντλίες Αίθουσα Vacuum>2.6E-3Pa δειγμάτων Αίθουσα Vacuum>2.6E-3Pa πυροβόλων όπλων ηλεκτρονίων Πλήρως αυτόματος κενός έλεγχος Κενή λειτουργία συναρμολογήσεων Χαμηλή κενή σειρά 10~270Pa για τη γρήγορη μετάβαση στα δευτερόλεπτα του 90 για τη EBS (LV) |
1 ιονικό σύνολο αντλιών 1 στροβιλο μοριακή αντλία 1 μηχανική αντλία Αίθουσα Vacuum>6E-4Pa δειγμάτων Αίθουσα Vacuum>2E-7 PA πυροβόλων όπλων ηλεκτρονίων Πλήρως αυτόματος κενός έλεγχος Κενή λειτουργία συναρμολογήσεων |
1 ψεκάστε την ιονική αντλία 1 ιονική σύνθετη αντλία κτητόρων 1 στροβιλο μοριακή αντλία 1 μηχανική αντλία Αίθουσα Vacuum>6E-4Pa δειγμάτων Αίθουσα Vacuum>2E-7 PA πυροβόλων όπλων ηλεκτρονίων Πλήρως αυτόματος κενός έλεγχος Κενή λειτουργία συναρμολογήσεων |
Ανιχνευτής | SE: Υψηλός κενός δευτεροβάθμιος ανιχνευτής ηλεκτρονίων (με την προστασία ανιχνευτών) | SE: Υψηλός κενός δευτεροβάθμιος ανιχνευτής ηλεκτρονίων (με την προστασία ανιχνευτών) | SE: Υψηλός κενός δευτεροβάθμιος ανιχνευτής ηλεκτρονίων (με την προστασία ανιχνευτών) |
EBS: Ημιαγωγός 4 κατάτμηση Πίσω διασκορπίζοντας ανιχνευτής Προαιρετικό πρότυπο: A63.7069-LV EBS (LV): Ημιαγωγός 4 κατάτμηση Πίσω διασκορπίζοντας ανιχνευτής |
Προαιρετικός | Προαιρετικός | |
CCD: Υπέρυθρη κάμερα CCD | CCD: Υπέρυθρη κάμερα CCD | CCD: Υπέρυθρη κάμερα CCD | |
Επεκτείνετε το λιμένα | 2 επεκτείνετε τους λιμένες στο δωμάτιο δειγμάτων για EDS, BSD, WDS Κ.ΛΠ. |
4 επεκτείνετε τους λιμένες στο δωμάτιο δειγμάτων για EBS, EDS, BSD, WDS Κ.ΛΠ. |
4 επεκτείνετε τους λιμένες στο δωμάτιο δειγμάτων για EBS, EDS, BSD, WDS Κ.ΛΠ. |
Στάδιο δειγμάτων | 5 στάδιο αξόνων, χειρωνακτικός έλεγχος 4 αυτόματος +1 Σειρά ταξιδιού: X=70mm, Y=50mm, Z=45mm, R=360°, T=-5°~+90° (χειρωνακτικό) Λειτουργία επιφυλακών & στάσεων αφής |
5 αυτόματο μέσο στάδιο αξόνων Σειρά ταξιδιού: X=80mm, Y=50mm, Z=30mm, R=360°, T=-5°~+70° Λειτουργία επιφυλακών & στάσεων αφής Προαιρετικό πρότυπο: A63.7080-μ 5 χειρωνακτικό στάδιο αξόνων A63.7080-λ 5 αυτόματο μεγάλο στάδιο αξόνων |
5 αυτόματο μεγάλο στάδιο αξόνων Σειρά ταξιδιού: X=150mm, Y=150mm, Z=60mm, R=360°, T=-5°~+70° Λειτουργία επιφυλακών & στάσεων αφής |
Ανώτατο δείγμα | Dia.175mm, ύψος 35mm | Dia.175mm, ύψος 20mm | Dia.340mm, ύψος 50mm |
Σύστημα εικόνας | Πραγματικά ακόμα εικονοκύτταρα ανάλυσης 4096x4096 εικόνας ανώτατα, Μορφή αρχείου εικόνας: BMP (προεπιλογή), GIF, JPG, PNG, TIF |
Πραγματικά ακόμα εικονοκύτταρα ανάλυσης 16384x16384 εικόνας ανώτατα, Μορφή αρχείου εικόνας: TIF (προεπιλογή), BMP, GIF, JPG, PNG Βίντεο: Αυτόματο ψηφιακό .AVI βίντεο αρχείων |
Πραγματικά ακόμα εικονοκύτταρα ανάλυσης 16384x16384 εικόνας ανώτατα, Μορφή αρχείου εικόνας: TIF (προεπιλογή), BMP, GIF, JPG, PNG Βίντεο: Αυτόματο ψηφιακό .AVI βίντεο αρχείων |
Υπολογιστής & λογισμικό | Ο σταθμός εργασίας PC κερδίζει το σύστημα 10, με το επαγγελματικό λογισμικό ανάλυσης εικόνας για να ελέγξει πλήρως ολόκληρη τη λειτουργία μικροσκοπίων SEM, προδιαγραφή τουλάχιστον διά I5 3.2GHz, μνήμη 4G, 24» όργανο ελέγχου ΔΙΕΘΝΏΝ ΕΙΔΗΣΕΟΓΡΑΦΙΚΏΝ ΠΡΑΚΤΟΡΕΊΩΝ LCD, σκληρός δίσκος 500G, ποντίκι, πληκτρολόγιο υπολογιστών | ||
Επίδειξη φωτογραφιών | Το επίπεδο εικόνας είναι πλούσιο και λεπτολόγο, παρουσίαση πραγματική - χρονική ενίσχυση, κυβερνήτης, τάση, γκρίζα καμπύλη | ||
Διάσταση & Βάρος |
Σώμα 800x800x1850mm μικροσκοπίων Λειτουργώντας πίνακας 1340x850x740mm Συνολικό βάρος 400Kg |
Σώμα 800x800x1480mm μικροσκοπίων Λειτουργώντας πίνακας 1340x850x740mm Συνολικό βάρος 450Kg |
Σώμα 1000x1000x1730mm μικροσκοπίων Λειτουργώντας πίνακας 1330x850x740mm Συνολικό βάρος 550Kg |
Προαιρετικά εξαρτήματα | |||
Προαιρετικά εξαρτήματα | A50.7002 φασματόμετρο ενεργειακής διασποράς ακτίνας X EDS A50.7011 ιονικό ψεκάζοντας Coater |
A50.7001 πίσω διασκορπίζοντας ανιχνευτής ηλεκτρονίων EBS A50.7002 φασματόμετρο ενεργειακής διασποράς ακτίνας X EDS A50.7011 ιονικό ψεκάζοντας Coater A50.7030 μηχανοποιήστε το πίνακα ελέγχου |
A50.7001 πίσω διασκορπίζοντας ανιχνευτής ηλεκτρονίων EBS A50.7002 φασματόμετρο ενεργειακής διασποράς ακτίνας X EDS A50.7011 ιονικό ψεκάζοντας Coater A50.7030 μηχανοποιήστε το πίνακα ελέγχου |
A50.7001 | Ανιχνευτής EBS | Ημιαγωγός πίσω διασκορπίζοντας ανιχνευτής τεσσάρων τμήματος Διαθέσιμος στα συστατικά A+B, πληροφορίες αβ μορφολογίας Το διαθέσιμο δείγμα παρατηρεί χωρίς επιμετάλλωση του χρυσού Διαθέσιμος μέσα παρατηρήστε την ακαθαρσία και τη διανομή από το χάρτη Grayscale άμεσα. |
A50.7002 | EDS (ανιχνευτής ακτίνας X) | Παράθυρο νιτριδίων πυριτίου (Si3N4) για να βελτιστοποιήσει τη χαμηλή μετάδοση ενεργειακής ακτίνας X για την ελαφριά ανάλυση στοιχείων Το άριστο ψήφισμα και η προηγμένη χαμηλού θορύβου ηλεκτρονική τους παρέχουν τη σημαντική απόδοση ρυθμοαπόδοσης Το μικρό ίχνος προσφέρει την ευελιξία να εξασφαλιστούν ιδανικοί όροι γεωμετρίας και συλλογής Aata Οι ανιχνευτές περιέχουν ένα τσιπ 30mm2. |
A50.7003 | EBSD (αναδρομικά διασκορπισμένη διάθλαση δεσμών ηλεκτρονίων) | ο χρήστης θα μπορούσε προσανατολισμός κρυστάλλου ανάλυσης, φάση κρυστάλλου και σύσταση μικροϋπολογιστών των υλικών και της σχετικής απόδοσης υλικών, κ.λπ. αυτόματη βελτιστοποίηση των τοποθετήσεων καμερών EBSD κατά τη διάρκεια της συλλογής δεδομένων, κάνετε τη διαλογική σε πραγματικό χρόνο ανάλυση για να λάβετε τις μέγιστες πληροφορίες όλα τα στοιχεία μαρκαρίστηκαν με τη χρονική ετικέττα, η οποία μπορεί να αντιμετωπισθεί ανά πάσα στιγμή X12 1392 X 1040 υψηλής ανάλυσης Ανίχνευση και ταχύτητα δεικτών: 198 σημεία/SEC, με το Νι ως πρότυπα, υπό τον όρο 2~5nA, αυτό μπορούν να εξασφαλίσουν το ποσοστό ≥99% δεικτών εργασίες καλά υπό τον όρο της χαμηλής τρέχουσας και χαμηλής τάσης ακτίνων 5kV σε 100pA προσανατολισμός που μετρά την ακρίβεια: Καλύτερα από 0,1 βαθμούς Χρησιμοποίηση του τρηπλού συστήματος δεικτών: καμία ανάγκη δεν στηρίζεται στον ενιαίο καθορισμό ζωνών, εύκολη ευρετηρίαση της κακής ποιότητας σχεδίων αφιερωμένη βάση δεδομένων: EBSD βάση δεδομένων που λαμβάνεται ειδική από τη διάθλαση ηλεκτρονίων: >400 δομή φάσης Δυνατότητα δεικτών: μπορεί αυτόματα να συντάξει ευρετήριο όλα τα υλικά κρυστάλλου 7 συστημάτων κρυστάλλου. Οι προηγμένες επιλογές περιλαμβάνουν την ελαστική ακαμψία υπολογισμού (ελαστική ακαμψία), παράγοντας του Taylor (Taylor), Schmidt (Schmid) παράγοντας και ούτω καθεξής. |
A50.7010 | Μηχανή επιστρώματος | Γυαλί που προστατεύει τη Shell: ∮250mm 340mm υψηλά Αίθουσα επεξεργασίας γυαλιού: ∮88mm 140mm υψηλό, ∮88mm 57mm υψηλά Σκηνικό μέγεθος δειγμάτων: ∮40mm (ανώτατος) Κενό σύστημα: αντλία molecula και μηχανική αντλία Κενή ανίχνευση: Διαμέτρημα Pirani Κενό: καλύτερα από 2 X 10-3 PA Κενή προστασία: 20 PA με Microscale τη βαλβίδα πληθωρισμού Κίνημα δειγμάτων: Περιστροφή αεροπλάνων, μετάπτωση κλίσης. |
A50.7011 | Ιονικό ψεκάζοντας Coater | Αίθουσα επεξεργασίας γυαλιού: ∮100mm 130mm υψηλό Σκηνικό μέγεθος δειγμάτων: ∮40mm (λαβή 6 φλυτζάνια δειγμάτων) Χρυσό μέγεθος στόχων: ∮58mm*0.12mm (πάχος) Κενή ανίχνευση: Διαμέτρημα Pirani Κενή προστασία: 20 PA με Microscale τη βαλβίδα πληθωρισμού Μέσο αέριο: αργό ή αέρας με την ειδική ρύθμιση κολπίσκων και αερίου αέρα αερίου αργού Microscale. |
A50.7012 | Ιονικό ψεκάζοντας Coater αργού | Το δείγμα καλύφθηκε με τον άνθρακα και το χρυσό κάτω από το υψηλό κενό Περιστρέψιμος πίνακας δειγμάτων, ομοιόμορφο επίστρωμα, μέγεθος μορίων για 3-5nm Καμία επιλογή του υλικού στόχων, καμία ζημία στα δείγματα Οι λειτουργίες του ιονικού καθαρισμού και της ιονικής εκλέπτυνσης μπορούν να πραγματοποιηθούν. |
A50.7013 | Κρίσιμος στεγνωτήρας σημείου | Εσωτερική διάμετρος: 82mm, εσωτερικό μήκος: 82mm Σειρά πίεσης: 0-2000psi Σειρά θερμοκρασίας: 0°-50° Γ (32°-122° Φ) |
A50.7014 | Λιθογραφία δεσμών ηλεκτρονίων | Με βάση το ηλεκτρονικό μικροσκόπιο ανίχνευσης, ένα νέο σύστημα νανο-έκθεσης αναπτύχθηκε Το Modificaton έχει κρατήσει όλες τις λειτουργίες SEM για την παραγωγή της εικόνας πλάτους γραμμών Nanoscale Το σύστημα Widly Modificated Ebl ίσχυσε στις μικροηλεκτρονικές συσκευές, οπτικοηλεκτρονικές συσκευές, συσκευές Quantun, Ε&Α συστημάτων μικροηλεκτρονικής. |
A63.7080, τυποποιημένη εξάρτηση αναλωσίμων A63.7081 | |||
1 | Ίνα εκπομπής τομέων | Εγκατεστημένος στο μικροσκόπιο | 1 PC |
2 | Φλυτζάνι δειγμάτων | Dia.13mm | 5 PC |
3 | Φλυτζάνι δειγμάτων | Dia.32mm | 5 PC |
4 | Double-sided αγώγιμη ταινία άνθρακα | 6mm | 1 συσκευασία |
5 | Κενό λίπος | 10 PC | |
6 | Άτριχο ύφασμα | 1 σωλήνας | |
7 | Γυαλίζοντας κόλλα | 1 PC | |
8 | Κιβώτιο δειγμάτων | 2 τσάντες | |
9 | Πατσαβούρα βαμβακιού | 1 PC | |
10 | Φίλτρο υδρονέφωσης πετρελαίου | 1 PC | |
A63.7080, τυποποιημένες εργαλεία A63.7081 & εξάρτηση μερών | |||
1 | Εσωτερικό Hexagon κλειδί | 1.5mm~10mm | 1 σύνολο |
2 | Τσιμπιδάκια | Μήκος 100120mm | 1 PC |
3 | Αυλακωμένο κατσαβίδι | 2*50mm, 2*125mm | 2 PC |
4 | Διαγώνιο κατσαβίδι | 2*125mmm | 1 PC |
5 | Καθαρός σωλήνας διεξόδων | Dia.10/6.5mm (έξω διάμετρος/εσωτερική διάμετρος) | 5m |
6 | Πίεση διεξόδων που μειώνει τη βαλβίδα | Πίεση 0-0.6MPa παραγωγής | 1 PC |
7 | Εσωτερική παροχή ηλεκτρικού ρεύματος ψησίματος | 0-3A συνεχές ρεύμα | 2 PC |
8 | Παροχή ηλεκτρικού ρεύματος UPS | 10kVA | 2 PC |